隔膜真空泵是一种干式运行、真空度相对不高的真空泵，工作原理是通过往复拉伸- 压缩隔膜，造成隔膜室容积发生变化，再结合单向阀切换气路，完成抽取真空的功能。由于橡胶隔膜本身弹性大，对气体并不能实现完全压出，故隔膜真空泵的真空度一般不高于200 Pa，但是其具有体积小，重量轻，使用方便等优点，所有与气体接触的部件经过防腐处理后可以完全解决了真空泵的抗化学腐蚀问题。特别适合用于需要抗化学腐蚀或需长时间不间断运行的场合，主要应用于食品、化学、医药、航空和汽车等工业。橡胶隔膜是隔膜真空泵最关键的部件， 长时间、高真空的使用要求对隔膜的材料和其相关部件的设计提出了更高的要求。本文作者使用有限元分析软件ANSYS对隔膜真空泵的橡胶隔膜进行建模并分析计算，为优化橡胶隔膜的设计奠定了基础。
1 橡胶材料的理论基础及数据拟合
隔膜的材料采用的是橡胶，橡胶由于交联分子链拆开的原因可承受高达100%~700%的弹性变形，人们在研究橡胶材料时，认为它是各向同性不可压缩的超弹性体。橡胶是一种超弹性材料，超弹性材料的本构关系呈现复杂的非线性。橡胶的泊松比接近（接近0.5）大于塑料（0.3）。一般工程材料的应力状态可以通过弹塑性曲线来描述，而超弹性材料则是通过弹性势能函数来描述，应力- 应变关系是高度非线性的。
2 位移边界条件
（1）隔膜右端上下两面及右端面被气室盖和泵壳压紧，其各种自由度被限制，如图所示，其位移将被完全限制；
（2）橡胶隔膜中心部位移将被耦合，隔膜中心部分添加一个位移为5mm 的位移约束；
（3）由于是轴对称分析，在图形的最左端还要添加一个轴对称约束，如下图所示隔膜模型的最左边。
橡胶隔膜截面图
3 应力边界条件
（1） 橡胶隔膜的上侧有1 atm 大气压的压力作用，在上表面添加一个方向朝下的大气压；
（2） 橡胶隔膜的下侧受到真空吸力的作用，在隔膜下表面添加一个方向朝下的大气压。
4 结论
本文通过有限元分析的方法对橡胶隔膜进行了力学分析，并建立其2 参数的M-R 数学模型，得到橡胶隔膜最大应力及应变情况，为橡胶隔膜和真空气室的设计提供了理论依据，本文提出的分析方法同样适用于其他超弹性体的研究。经过研究，得出了以下结论：
（1） ANSYS 有限元超弹性分析符合实际情况，能够有效反应橡胶的应力- 应变情况。
（2） 此橡胶隔膜最大应力在真空接触面的中部和上端直角处，为橡胶的优化设计提供了依据，应变模型为真空气室的结构设计提供了依据。
（3）分析所得应力与实验所得应力相符。
